| 所述谱学显微镜和，和频谱观测方法 |
| JP2017020786 2017-2-7 发明申请 |
| 2018-8-16 |
| [问题]有效地谱谱学显微镜和光谱观测方法。[解决手段]本发明的实施例应用于谱学显微镜100，光源产生的激光L1入射到样品37和11，多个线状照射样品(37)上的照明面积的39，所述的照明区中产生的光照射的激光L2的l3信号39，该激光光源的光的波长，所以可以遮断来自边缘过滤器31和L1，分支信号光L4穿过边缘滤波器具有多个狭缝，每个狭缝的狭缝部(51)配置在宽度方向的多狭缝，多个狭缝(53)通过信号光L4，狭缝长度方向正交的方向中的分散体分散，2维阵列检测器62检测光谱仪(60)，被提供。图[图2] |
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