| 本发明涉及一种扫描电子显微镜电子源系统 |
| WOUS18016902 2018-2-5 发明申请 |
| 2018-8-16 |
| 一种扫描电子显微镜(SEM)系统包括多个电子-光学列，并且多电子束源。所述电子束源包括一个或多个发射器尖端发射体，其包括被配置成生成一个或多个电子多个束电子束。所述电子束源包括 : 堆叠的一个或一个以上的定位器经配置以调整所述发射器的位置基于一个或多个测量结果产生的电子束的发射器。所述发射器被配置为扫描这一个或多个电子束通过孔周围的区域的电子-光学装置列的多个电子-光学装置列。所述电子束源阵列包括一载板及热源塔。所述源塔经配置以调整所述多个位置的电子束源的相对位置所述多个电子-光学装置列。 |
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