| 面积小,使用显微镜的光谱测量系统 |
| KR1020170044028 2017-4-5 发明授权 |
| 2018-8-10 |
| 本发明涉及采用光谱测量系统,涉及一种显微镜的面搜索,而不使用工具。因此,本发明涉及全息测定光源发光。全息透射或反射所述光源照射样品,所述透射或反射光源到不同的位置与角度相关根据傅里叶平面成像中发展平面;所述全息或衍射角信息用于所述样品光谱信息的多个...[]利用傅里叶平面的平面中形成的图像进行成像的成像透镜;和根据所述成像透镜,其上全息图的成像角度估计的频谱的频谱分析仪,包括成像。由此,本发明涉及一种用于将测量光谱显微镜镜头的立方角镜可以是彩色的质量评估和鉴定样品的表面实施方案中,全息测量的试样调制装置的像素速率即可,另外的角度或透射/反射的彩色再现全息样品进行测量。 |