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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

多柱扫描电子显微镜系统

US15612862 2017-6-2 发明申请

2018-8-9

一种多柱扫描电子显微镜(SEM)系统包括柱组件，其中所述柱组件包括第一基板阵列组件和至少第二基板阵列组件。所述系统还包括源组件，所述源组件包括配置成产生两个或多个电子束的两个或多个照明源和配置成在多个方向上调节所述两个或多个照明源中的特定照明源的位置的两组或多组多个定位器。所述系统还包括配置成固定样品的台，其中所述柱组件将所述两个或更多个电子束的至少一部分引导到所述样品的一部分上。