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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

多列扫描电镜系统

WOUS18016742 2018-2-2 发明申请

2018-8-9

多列扫描电子显微镜(SEM)系统包括立柱组件，在第第一基板阵列组件和立柱组件包括至少第第二基板阵列组件。该系统还包括光源组件，所述光源组件包括两个或多个照明源被配置为生成两个或更多个电子束和两个或多组多个定位器经配置以调整位置的两个特定的照明源在多个方向或多个照明源。该系统还包括 : 载台，其构造成将样品，其中立柱组件将至少一部分的两个或更多个发射电子束的一部分样品。