| 光激发微波阻抗显微镜 |
| US15421163 2017-1-31 发明申请 |
| 2018-8-2 |
| 一种用于原子力显微镜系统，其中弯曲探针悬臂的尖锐电极尖端由于其电特性而紧密邻近被测样品定位。 光束照射围绕探针尖端的样品的一部分，并以无线电或更低的调制频率进行调制。 在一个实施例中，参考微波信号入射到电极尖端。 微波电路从探针尖端接收微波信号，其可以是入射信号的反射。 电子电路参照调制频率处理接收信号，以产生指示样品的电子或原子性质的一个或多个解调信号。 可选地，光束被脉冲化，并且分析解调信号的时间特性。 波束可以非线性地产生微波信号。 两个源激光器可以具有与微波频率不同的光频率。 |
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