| 一种原子力显微镜超短距离激光检测装置 |
| CN201810373552.5 2018-4-24 发明申请 |
| 2018-7-24 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜超短距离激光检测装置，包括：光学物镜组件；以及设于所述光学物镜组件正下方的激光检测头，所述激光检测头包括：内部中空的壳体；及设于所述壳体内部的激光器组件、探针架组件、及位置探测器组件，其中，所述光学物镜组件包括物镜转盘以及布置于所述物镜转盘周向上的多个不同放大倍数的物镜，所述物镜的放大倍数为4～100倍。本发明提供的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其具有彻底解决了现有装置低倍物镜定位不够准确的问题，可以根据样品实际情况进行随意切换放大倍数和光学视野，极大的方便了原子力显微镜的操作性，能够很轻易的找到待测的样本区域的有益效果。 |
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