电子束扫描透射电子显微镜和能量损失谱仪对其进行监视
 
JP2017542541  2015-9-29  发明申请

2018-7-19
 
  本发明的目的是,一种低加速电压,茎明场,暗场图像与高分辨率观察黄鳝杆和实用。本发明,电子能量损失谱仪(17)与扫描电子显微镜中的传输,该初级电子束通过改变光轴的方向(11,13)和排样的电子束能量损失谱仪(17),所述探测器杆进气控制角度。根据本发明,捕获角控制在抑制色差发生伴随,茎明场,暗场散射角易于控制和最佳的鳗鱼杆上。
 
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