| 扫描装置及扫描探针显微镜 |
| WOJP17044060 2017-12-7 发明申请 |
| 2018-7-19 |
| 本发明提供一种扫描仪能够大范围测量，也可以作为高精度，高速测量。本发明提供一种扫描仪，包括 : 一外框；一种第一内框，其设置在所述外框架；一种广域Y移动的致动器第一相对内框在Y方向的方式相对于所述的外框，一种第二第一内设有内框，内框一种广域X致动器第二中的内框相对移动的方式在x方向，它正交的Y方向上，相对于第一内框；一种第三第二内设有内框，内框窄区域Y移动的致动器第三相对内框在Y方向的方式相对于第二，内框，一种可移动基座第三内设有内框，和窄的区域X的致动器相对方式移动所述可移动底座在x方向相对内框第三。 |
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