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？金属装置，用于扫描电子显微镜探针及其制造方法？

BR102016029126 2016-12-12 发明申请

2018-7-17

“用于扫描探针显微术的金属装置及其制造方法”本发明是指用于扫描探针显微术的装置及其制造方法。该金属装置包括布置成两个部分(2)和(3)的单个主体(1)，并且第二部分(3)具有限定纳米顶点(7)的亚微米尖端(4)。本发明还提供了一种用于扫描探针显微的高效光学探针的制造方法。