| 用于扫描探针显微镜的探针(embodiments)及其制造方法 |
| RU2017122309 2017-6-23 发明授权 |
| 2018-7-6 |
| 领域 : 测量设备的方法。本发明涉及测量设备可用于扫描探针显微镜检查。用于扫描探针显微镜的探针包括悬臂用于与位于悬臂针尖的原子力显微镜尖端在光学活性区域。有源区从半导体材料为复合纳米粒子的金属涂层50–300纳米的直径。悬臂材料为硅或氮化硅，所述纳米粒子由所述镀金硅。探针的制造方法，其主要特征是在纳米粒子形成与所述悬臂上靠近球体形状的针尖。在一个实施例中，半导体材料纳米颗粒预先制作的激光烧蚀法从沉积在透明基板层的金属-半导体结构，与悬臂的纳米颗粒在一起后放入扫描电子显微镜室，当用纳米微粒从衬底转移到所述悬臂针尖处用位于所述三坐标持在所述扫描电子显微镜室，金属尖。在第二实施例中，所述半导体纳米颗粒直接形成于所述悬臂针尖照射未官能化的半导体悬臂尖端原子接触力显微镜与薄金属层的表面；通过激光脉冲持续时间不超过微秒。作用 : 技术方案可以使高空间分辨率和亚波长resolution.6Cl，8的双层管 |
微信公众号