用于扫描探针显微镜的样品容器保持结构
 
US15739094  2016-6-15  发明申请

2018-7-5
 
  一种用于倒置显微镜的样品容器保持机构,所述倒置显微镜具有光学物镜和扫描探针显微镜(SPM)头。 所述倒置显微镜包括用于支撑样品容器的平台,在所述平台中形成孔径,所述孔径的尺寸设置成为所述倒置显微镜的物镜提供通道以从下方接近所述样品容器。 所述保持机构提供形成在所述平台中的真空区域,其中所述真空区域与真空发生器气压耦合。 在真空区域中建立真空防止或基本上减少样品容器底板在SPM头的工作频率范围内的振荡。
 
仿站