| 一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜 |
| CN201721426007.5 2017-10-31 实用新型 |
| 2018-6-29 |
| 本实用新型适用于扫描电镜样品台技术领域，提供了一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜。扫描电镜样品台包括用于夹持样品的夹持部件，所述夹持部件包括用于对合夹持样品的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部相向的面均设置有用于容纳样品的夹槽，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间设置有导向柱，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间还连接有锁紧件。所述扫描电镜包括上述的一种扫描电镜样品台。本实用新型所提供的一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜，可以精准地夹持样品(钻头)，电子束可以垂直于样品表面，检测可靠性佳。 |
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