| 用于显微镜的光束整形及光座组件和方法 |
| JP2017561695 2016-5-25 发明申请 |
| 2018-6-28 |
| 本发明的目的是，适于产生厚度减小光束在高速或片材，一种波束赋形方法和装置，以及在所述检测步骤，可提高分辨率而不损害其轴向平行，镜检用光学片组件。本发明的目的是，(7)一自由光束衍射极限，无衍射极限，其修正后的光束具有最大的衍射极限强度沿垂直于传播主方向(这里，一种N≧2)经修饰的N束(10)到(8)包括校正装置，用于实现光束整形组件。此外，校正光束整形的光束不对应的衍射极限的方法，光束整形光学显微镜组件被公开和要求保护一种片组件。 |
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