| 光学显微镜和自动样本中的感测表面的扫描系统 |
| WOUS17065596 2017-12-11 发明申请 |
| 2018-6-28 |
| 本发明的方法和系统，该系统包括定位盖片覆盖样品表面相对于一个显微镜系统的物平面，二维图案的光投射到所述表面，其中的二维焦平面上的图案表面的位置旋转一角度J相对于物体平面上，得到的二维图像从表面反射的光图案，用检测器包括 : 成像传感器的取向垂直于传播方向的光反射图案在传感器上，分析图像以确定图像内的图案线的最佳聚焦点，确定从所期望的线的最佳聚焦偏移在最佳聚焦位置的线所述图像，并且基于确定的位置调节表面偏移。 |
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