| 原子力显微镜用光子探针 |
| US15799337 2017-10-31 发明申请 |
| 2018-6-21 |
| 一种用于原子力显微镜的光子探针，包括 : 悬臂，包括 : 尖端； 与尖端机械连通的翅膀； 插入在尖端和机翼之间的延伸部，以同步地将尖端的运动与机翼通信； 光学谐振器，所述光学谐振器靠近所述悬臂设置，并且 : 接收输入光； 并且产生输出光，使得 : 悬臂与光学谐振器间隔开间隙距离，其中间隙距离随着悬臂相对于光学谐振器移动而变化，并且输出光响应于悬臂相对于光学谐振器的移动而不同于输入光； 光波导，与所述光谐振器进行光通信，并且所述光波导 : 向所述光谐振器提供所述输入光； 并且接收来自光学谐振器的输出光。 |
微信公众号