| 光学显微镜和自动样品扫描系统中的表面传感 |
| US15837956 2017-12-11 发明申请 |
| 2018-6-21 |
| 本发明的特征在于包括相对于显微镜系统的物平面定位覆盖样品的盖玻片的表面的方法和系统, 将二维图案的光投射到表面上, 其中在所述表面的位置处的所述二维图案的焦平面相对于所述物平面旋转角度β, 使用检测器获得从所述表面反射的光图案的二维图像,所述检测器包括垂直于在所述传感器处反射的光图案的传播方向定向的成像传感器,分析所述图像以确定所述图案在所述图像内的最佳聚焦线,确定所述最佳聚焦线相对于所述图像内的所述最佳聚焦线的预期位置的偏移,以及基于所述偏移确定所述表面的位置调整。 |