| 原子力显微镜 |
| WOJP16086900 2016-12-12 发明申请 |
| 2018-6-21 |
| 该原子力显微镜具有 : 一个XY移动台(13)；XY扫描器(14)，其用于使在XY扫描所述XY移动台移动的平面内的运动，对xy平面平行；Z扫描器(15)，其具有保持固定端通过XY移动台，具有保持悬臂的自由端，和使悬臂(17)移动的Z扫描沿Z轴垂直的XY运动平面；用于光学和光学位移传感器检测位移的悬臂。光学位移传感器包括聚光透镜(12)保持在所述XY移动台。聚光透镜将入射的检测光，具有产生探测光聚焦光斑，并产生探测光照射到悬臂上。原子力显微镜上还设置有Z扫描跟踪系统，根据Z扫描，产生移动的照射区域的位置沿所述悬臂通过Z扫描所引起的。 |
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