| 结合扫描透射电子显微镜及能量色散Ｘ射线光谱断层扫描的设备 |
| TW106138339 2017-11-6 发明申请 |
| 2018-6-16 |
| 本發明係關於一種用於基於樣本之STEM影像對一樣本(20)進行斷層掃描分析以及用於基於藉由EDS偵測器之X射線偵測對該樣本之化學組成進行斷層掃描分析之設備，該設備包括：一長形樣本固持器(21)，其可圍繞以縱向軸線(101)旋轉並且經配置用於在該固持器之端部處固持一柱狀樣本(20)，其中該縱向軸線(101)定位在一樣品平面(22)中，該樣品平面垂直於束方向(100)、至少兩個EDS偵測器(16, 17)，各SDD具有該垂直於該樣品平面(22)定向並與該樣品平面相交之一偵測表面(16'，17')，且其中該兩個EDS偵測器(16, 17)位於該樣本(20)之相對橫向側上。 |
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