| 扫描型显微镜装置和图像构建方法 |
| JP2016234357 2016-12-1 发明申请 |
| 2018-6-14 |
| 要解决的问题：当从通过多次扫描三维区域获得的图像数据构造新的图像数据时，缩短构造图像所需的时间，同时抑制构造图像的图像质量的劣化。 解决方案：扫描型显微镜装置100包括：扫描单元4，其在穿过物镜8的光轴的方向上扫描样本S； 聚焦单元7，其沿光轴方向移动以改变载物台9和物镜8之间的距离； 位移计15，其检测聚焦单元7的位置； 光学检测器13，其检测来自样品S的光； 图像输出单元18； 以及图像处理部20a。 图像输出部18构成为输出基于线扫描的定时获取的对焦部7上的图像数据和位置数据，图像处理部20a构成为在对焦部7彼此向相反方向移动的第一三维扫描和第二三维扫描的动作中，基于从图像输出部18输出的多个图像数据和多个位置数据，生成新的图像数据。 选图：图1版权：(C)2018, JPO&INPIT |
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