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扫描电子显微镜检查装置
JP2018047642 2018-3-15 发明申请
2018-6-14
本发明为[要],扫描电镜检测装置,所述样品中存在的空气可利用电子束扫描电子显微镜上观察的装置。[构造]真空密封钻电子枪,电子束扫描机构,物镜,检测器,生成装置,电子枪产生的电子束钻真空密封,扫描透镜在所述薄样品的表面,2产生的二次电子,反射电子或X射线产生,检测当前的扫描电子显微镜图像的样品中流动。图[图1]
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