米勒矩阵显微镜
 
US15487407  2017-4-13  发明申请

2018-6-14
 
  一种米勒矩阵显微镜,包括 : 偏光单元和分析单元。 偏振单元被配置为调制从外部光源模块发射的光束以产生偏振光束,然后将偏振光束投射到待测样品的表面上。 所述分析单元,用于分析从所述样品表面反射的光束的偏振状态,获取所述样品的信息。 分析单元包括偏振状态分析器(PSA)和背面反射抑制(BRS)单元。 PSA单元,用于解调光束的偏振状态; 所述BRS单元用于抑制来自透明基板的背面反射。
 
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