| 用于扫描电子显微镜中的X射线靶组件 |
| CN201711260936.8 2017-12-4 发明申请 |
| 2018-6-12 |
| 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜中的X射线靶组件，涉及扫描电子显微镜技术领域，可对SEM电子束轰击靶材后产生的二次电子进行有效屏蔽，解决二次电子及其诱发的杂散光对X射线对成像质量造成不良影响的问题。本发明采用的技术方案是：用于扫描电子显微镜中的X射线靶组件，包括靶材和屏蔽盒，靶材放置于屏蔽盒内，屏蔽盒上设置至少一个入射口和至少一个出射口，屏蔽盒内放置一个或多个靶材，每个靶材均在屏蔽盒上对应设置入射口和出射口。扫描电子显微镜电子束由入射口射入，轰击靶材后产生的X射线从出射口射出，扫描电子显微镜电子束轰击靶材产生的二次电子由屏蔽盒进行有效屏蔽，避免二次电子及其诱发的杂散光对X射线成像质量的影响。 |
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