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定量方法中的样品表面三维重建扫描电子显微镜
RU2016149376 2016-12-15 发明授权
2018-6-8
领域 : 测量设备的方法。本发明涉及一种扫描电子显微镜。本发明利用摄影测量原理获得的图像处理中各种倾斜角度的扫描电子显微镜测试样品。在试样表面,球形结构元件中生成对比度图像中预先形成,摄影图像处理的结果来校正所述个体的身高的值确定所述结构元件从图像效果 : 技术效果是提高了三维重建accuracy.1Cl,2的双层管
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