| 轴向排列以及电子显微镜 |
| JP2016230167 2016-11-28 发明申请 |
| 2018-6-7 |
| [问题]为了便于轴向对齐的发射波可从轴向对齐的电子衍射图形方法。[解决手段]根据本发明的轴线对准方法，物镜后焦面或后焦平面成像装置设置在电子显微镜的配合面具有轴向对准的方法，样品的入射电子束扫描方位角，绕射波的方位角和发射波在不同的电子衍射成像装置包括 : 成像图案，集成的一体化步骤获得的图像，发射波中提取的集成工艺，基于所提取的图像位置的发射波，所述发送波由成像装置捕获的图像位于所希望的图像上的位置，电子束偏转入射在成像装置的方法，包括。图[图7] |
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