| 扫描探针显微镜系统，探针及安装和拆卸方法 |
| WONL17050788 2017-11-28 发明申请 |
| 2018-6-7 |
| 扫描探针显微镜检查系统(1)包括探头(2)，扫描头(11)具有第第一探针固定器(21)，探针更换机械手(12)具有第第二探针固定器(22)，一种冲力发电系统(31)，32)，和力控制系统(41)，42)，用于控制所述力生成系统提供一种合力(72)作用在探头。以此合力作为包括压气力分量和/或静电力部件。拆卸或探针安装在探针(52)与所述第一探测器的探针移动架(21)向第二探针固定器(22)，或者相反，分别，而不第一探针固定器第二接触探针，探针固定器。所述探针的所述运动带动所述的合力。本发明允许自动安装和拆卸探针具有速度快，精度高。 |
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