| 用于扫描探针显微镜的方法和自动定位和光学原位光谱法 |
| BR102015011233 2015-5-15 发明申请 |
| 2018-6-6 |
| 本专利申请描述了一种能够自动定位用于扫描过程(扫描探针显微镜或SPM)的探针的方法和设备， 包括其与光学系统的耦合，例如近场光学显微镜(扫描近场光学显微镜或SnOm)或探针拉曼光谱术(尖端增强拉曼光谱术或Tercopys)，这些光学系统要求其精确定位和操作。 所提出的方法和设备基于使用视觉反馈的计算视觉和闭环定位控制能力。 SPM，SNOM和TERS实验可用于精密制造，微电子和生物医学工业，以及其中这种监测导致产品质量和可靠性提高的科学和技术领域。 |
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