| 扫描探针显微镜系统，其中交换探针和方法 |
| EP16201131 2016-11-29 发明申请 |
| 2018-5-30 |
| 扫描探针显微镜检查系统(1)包括测量间隙宽度的测量系统，探针更换作业时，一种间隙宽度(d1，D2)之间的间隙(3)内的探头(2)和探头架(21)。所述间隙宽度测量系统包括 : 气体流动系统(4，5，6，7，8)，用于控制气体流量的气体通过施加预定的气流向所述气体激发条件，其中所述的气体流动时至少出现在所述间隙(3)；压力传感器(9)，用于感测所述时间依赖性变化压力气体；和评价系统(10)，用于确定所述间隙宽度；根据至少所述检测的压力和所述预定气流的激励条件。本发明可以精确的测量间隙宽度，而基本上不影响建筑空间的位置附近的SPM系统的探针和探针固定器相接。 |
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