| 扫描透射电子显微镜及图像生成方法 |
| EP17204093 2017-11-28 发明申请 |
| 2018-5-30 |
| 本发明提供了一种扫描透射电子显微镜能生产多种类型的杆(扫描透射电子显微镜)图像使用单个检测器。电子显微镜(100)具有一个电子源(10)发射电子束，扫描偏转器(13)，用于扫描所述光束在样品(S)，用于将所述光束聚焦的物镜(14)，一个成像器(22)，其配置在物镜的后焦平面(14)处或在共轭的平面带所述的后焦平面上，和被扫描图像产生器(40)，用于生成扫描图像的基础上，通过摄像装置捕获的图像。扫描图像发生器(40)的操作形成电子束通过电子衍射图案的位置上电子束扫描样品，由成像器捕获的电子衍射图，从而产生多个图像，将每个像素的强度基于设置在积分区域的大小图像的发送波产生的相应的一个中产生图像的每个图像在样品上的各个位置处的信号强度找到，扫描图像和生成的信号强度的基础上，在样品上的位置。 |
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