| 双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器及扫描探针显微镜 |
| CN201711188898.X 2017-11-14 发明申请 |
| 2018-5-29 |
| 本发明涉及一种双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器及扫描探针显微镜，包括两个压电管，两个压电管共轴地相互嵌套在一起，内压电管的两端分别与外压电管的两端相互固定，形成双管嵌套机械并联结构，这相当于增加了扫描器的有效机械壁厚，使其更加坚固、刚性强，进而增强了扫描器的抗震性和稳定性，非常适合于极端与恶劣环境下的扫描成像；同时，内外压电管又能在Z方向同步伸长或缩短，使得本发明的压电扫描器在Z方向上的压电伸缩长度并不会因此而减少，因而依然能够满足扫描探针显微镜要求其压电扫描器在Z方向伸缩长度足够大的必要条件。 |
微信公众号