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原子力显微镜及其控制方法
US15863023 2018-1-5 发明申请
2018-5-24
原子力显微镜是通过悬臂相对于样品的光栅扫描来获取样品信息。 原子力显微镜包括光栅扫描信息发生器,用于产生包括定时信息的光栅扫描信息。 定时信息包括悬臂和样本之间的相对速度降低到低于阈值的第一定时,以及在第一定时之后相对速度增加到高于阈值的第二定时。 原子力显微镜还包括光栅扫描控制器,用于控制光栅扫描,以及交互控制器,用于在第一定时降低悬臂和样品之间的交互强度,并在第二定时增加交互强度。
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