可用于电子显微镜的电子枪及包含其的电子显微镜
 
WOKR17012981  2017-11-16  发明申请

2018-5-24
 
  本发明涉及一种电子枪,其保持真空密封的真空排气配管连接部抽真空后与电子枪中包括吸气并可更换,和包含其的电子显微镜,所述保持真空,通过真空排气配管连接部密封,抽真空后与吸气剂设置在电子枪,用于电子显微镜的电子枪可以方便的更换可分离的电子束柱,它是经济的,因为在一起构成电子显微镜的电子枪的电子束光学系统可用作替代现有的电子显微镜的电子枪。
 
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