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成像的扫描探针显微镜样品和探针之间的间隙在基本水平的侧视图

EP16200047 2016-11-22 发明申请

2018-5-23

扫描探针显微镜(1)，用于分析样品(6)移动探头(11)与试样(6)彼此连接，所述的扫描探针显微镜(1)包括检测单元(60)之间的间隙(62)检测的图像所述样品(6)和探头(11)在基本上水平的侧视图。