| 一种台式电子扫描显微镜 |
| CN201710800141.5 2017-9-7 发明申请 |
| 2018-5-18 |
| 本发明涉及一种台式电子扫描显微镜，包括镜筒和与镜筒连通的真空室；镜筒内设置有电子枪、聚光镜、光阑机构、扫描线圈，以及聚焦透镜；真空室内样品台和调节机构；经由聚焦透镜汇聚的电子束投射在样品上产生二次电子；真空室内还设置有接收二次电子并将其转换成数字信号发送至计算机的接收处理单元；电子枪发射电子束后，电子束经由聚光镜进行聚光，以及光阑机构进行滤除后，由聚焦透镜进行聚焦成点状并投射到样品上，经过样品产生的二次电子由接收处理单元接收并将其转换成数字信号发送至计算机进行显示。 |
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