| 一种用于透射电镜成像的相位板装置 |
| CN201721224014.7 2017-9-22 实用新型 |
| 2018-5-15 |
| 本实用新型公开了一种用于透射电镜成像的相位板装置，包括真空仓、三维调节台和支撑杆，所述真空仓一侧与透射电镜的镜筒相连接；所述三维调节台设置在所述真空仓内部；所述支撑杆远离所述镜筒的一端与所述三维调节台相连接，靠近所述镜筒的一端与相位板支架相连接，所述支撑杆通过所述三维调节台进行位置调整，使设置在所述相位板支架上的相位板在所述镜筒内进行位置调整。通过本实用新型提供的相位板装置可以在空间上进行三个维度的高精度位置调节，大大提高了相位板的稳定性、位置调节灵活性和功能扩展的充分发挥。 |
微信公众号