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检测器的扫描电子显微镜用阴极
RU2017146873 2017-12-28 实用新型
2018-5-14
本发明涉及一种分析设备的阴极设计来研究对象在医药,生物和材料科学领域。装置旨在作为检测器的扫描电子显微镜用组合物中的应用,使其可以获得三维图像物体的阴极,设置在透明基片上。所述的任务,由此更换镜与直角棱镜的一个反射面。阴极发光信号作为全内反射结果与信号相比没有损失,从反射镜。本实用新型效果是提高阴极的灵敏度和分辨率扫描电子显微镜的光探测器。1供给装置。
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