产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

多束粒子显微镜

DE102016120902 2016-11-2 发明申请

2018-5-3

多束粒子显微镜包括多束粒子源，用于产生多个初级粒子射束，物镜102聚焦初级粒子束和检测器阵列，用于检测物体平面101中二次粒子射束的强度。每个初级粒子束被分配一个二次粒子射线束。所述物镜的物平面101之间的多孔径板设置10211，具有多个开口37。多孔径平板11不同的光路穿过的开口37不同的初级粒子束的各种不同的开口37，通过该多孔径板11也不同的二次粒子射束的光路。