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扫描探针显微镜及扫描速度的扫描探针显微镜在扫描步骤中增加的方法模式

DE102016221319 2016-10-28 发明申请

2018-5-3

本发明涉及一种扫描探针显微镜(500)，包括 : (α)的扫描单元(555)，形成的，测量探头(400)的工序中，在样品表面(515)处于采样模式扫描；和自激振荡电路(B(590)上，790)形成，所述步骤期间测量探头(400)-(1050)中的扫描模式的固有振动激励。