| 光源单元，分析单元，检测单元和用于扫描探针显微镜的方法 |
| DE102017205442 2017-3-30 发明申请 |
| 2018-5-3 |
| 本发明涉及一种光源单元(310)中使用的检测单元(300)，用于扫描探针显微镜(600)，所述光源单元(310)的至少一个分束器(430)，形成的，第第一光束(420)的至少2/2束光束(320，340)来产生，在所述至少一个特性(325，345)是不同的。本发明涉及一种分析单元(390)，用于在检测单元(300)，用于扫描探针显微镜(600)，所述分析单元(390)的至少一个分束器(530)，形成的，围绕至少一个探头(242)，252)的扫描探针显微镜(600)的反射光(360，370)在至少两个分光束(545，555)拆分，并且其中所述至少两个分光束(545，555)中至少一个不同的性能。 |
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