| 原子力显微镜及其控制方法 |
| US15848217 2017-12-20 发明申请 |
| 2018-5-3 |
| 原子力显微镜通过在悬臂和样品之间横跨XY平面执行相对光栅扫描来获取样品信息，同时使得在悬臂的自由端处提供的探针和样品之间产生相互作用。原子力显微镜通过在悬臂和样品之间横跨XY平面执行相对光栅扫描来获取样品信息，同时使得在悬臂的自由端处提供的探针和样品之间产生相互作用。原子力显微镜通过在悬臂和样品之间横跨XY平面执行相对光栅扫描来获取样品信息。 该原子力显微镜包括光栅扫描信息发生器，用于产生光栅扫描信息；光栅扫描控制器，用于基于光栅扫描信息控制光栅扫描；以及交互控制器，用于基于光栅扫描信息控制交互的强度。 当横跨光栅扫描的xy平面的悬臂和样品之间的相对速度相对降低时，交互控制器相对降低交互的强度。 |
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