| 一种基于红外光谱的分辨率和灵敏度增强的原子力显微镜方法及装置 |
| US15348848 2016-11-10 发明申请 |
| 2018-5-3 |
| 用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度化学成分图的方法和设备。 在一些实施方案中，使用三种技术的组合来创建这些化学组成图 : (1)用IR辐射照射样品，而不是调谐到样品中的吸收带； 和(2)优化被调谐到特定目标材料的机械耦合效率； (3)优化调谐到特定目标材料的共振检测。 通过这些步骤的组合，可以获得(1)基于独特的IR吸收的化学组成图； (2)极短程针尖-样品相互作用增强的空间分辨率； (3)调谐到特定靶材料的共振放大。 在其他实施例中，可以利用这些步骤中的任何两个，并且仍然实现空间分辨率和/或灵敏度的显著改善。 |
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