横截面透射电镜片层轴转换过程中的ROI封装方法
 
US15802268  2017-11-2  发明申请

2018-5-3
 
  提供了一种用于铣削用于TEM分析的薄片的轴转换技术,其包括溅射沉积以防止轴转换薄片的翘曲。
 
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