| 用于多束扫描电子显微镜系统中的噪声减轻的方法和系统 |
| SG11201801827P 2016-9-19 发明申请 |
| 2018-4-27 |
| 公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成产生多个电子束的多束电子束源、配置成固定样品的样品台、电子光学组件和配置成检测从样品表面发出的多个电子信号束以形成多个图像的检测器组件，每个图像与多个电子束中的一个电子束相关联。 所述系统包括控制器，所述控制器被配置成从所述检测器组件接收所述图像，比较所述图像中的两个或更多个以识别存在于所述两个或更多个图像中的共同噪声分量，以及从所述多个图像中的一个或更多个图像中移除所识别的共同噪声分量。 |
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