| 用于多束扫描电子显微镜系统的焦点调整的方法和系统 |
| SG11201801883X 2016-9-23 发明申请 |
| 2018-4-27 |
| 公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成形成多个电子束的多束电子源、配置成固定样品的样品台、将电子束引导到样品的一部分上的电子光学组件、以及配置成同时获取样品表面的多个图像的检测器组件。 所述系统包括控制器，所述控制器被配置成从所述检测器组件接收所述图像，通过分析所述图像的一个或多个图像质量参数来识别所述图像的最佳聚焦图像，并且基于与所识别的最佳聚焦图像对应的电子束的焦点来引导所述多透镜阵列调整一个或多个电子束的焦点。 |
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