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照明装置和显微镜
JP2016203104 2016-10-14 发明申请
2018-4-19
[A]不增大装置的尺寸和可操作性的劣化,所述透射照明源,以抑制杂散光入射。所述照明装置[LS],24和光源,光源24从试料台5的方向设置在照明光学系统,包括 : 反射部件8和25,反射从光源24和25之间的光路设置成插入退构件OP1,杂散光入射到遮光部11和24,被提供。图[图1]
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