| 扫描探针显微镜 |
| US15712760 2017-9-22 发明申请 |
| 2018-4-19 |
| 本发明提供一种即使在分束器可动的情况下也能进行高精度观察的扫描探针显微镜，在扫描探针显微镜中检查试样和悬臂的位置时， 通过将光学显微镜设置成面对外壳的顶表面的第一开口部分，并且通过抓握和旋转设置在外壳的侧面上的操作部分，用户旋转和移动由外壳中的保持部分保持的分束器，并且从光学显微镜的视场收回分束器。通过将光学显微镜设置成面对外壳的顶表面的第一开口部分，并且通过抓握和旋转设置在外壳的侧面上的操作部分，用户旋转和移动由外壳中的保持部分保持的分束器，并且从光学显微镜的视场收回分束器。 因此，分束器可以始终设置在壳体中，并且可以防止用户触摸分束器。 结果，可以防止分束器损坏或污迹附着到分束器上。 此外，可以缩短轴承分离器6的移动距离。 因此，能够抑制分束器的位置的偏差的发生。 |
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