| 一种提高扫描电镜检测模具使用效率的装置 |
| CN201721249532.4 2017-9-27 实用新型 |
| 2018-4-13 |
| 本实用新型公开了一种提高扫描电镜检测模具使用效率的装置，包括圆形铝合金板，所述圆形铝合金板上面使用铣刀铣出六个跟扫描电镜检测模具外径大小相适应的模具孔，所述六个模具孔内底面与圆形铝合金板平面呈一定角度。本实用新型的优点在于：采用本实用新型装置辅助扫描电镜检测模具时可以不需要载物台倾斜，只需要检测完毕后旋转，而且可以一次放置多个模具，节省了放入或拿出模具时抽真空的时间，可以节约2/3的总检测时间，且本实用新型结构简单，不易损坏。 |
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