| 扫描探针显微镜 |
| JP2016197951 2016-10-6 发明申请 |
| 2018-4-12 |
| [问题]本发明测量样品表面接触的同时防止悬臂在短时间的操作该方法能够断裂，和，防止饲料变质的扫描探针显微镜样品的测量精度。一种用于测量悬臂的悬臂(第一)1[a]1，沿试样表面扫描检测的接触悬臂2S，第一(悬臂)2，1悬臂易偏位1比第二，所述接触检测的样本。悬臂第一和第二12121秒的采样率靠近悬臂，所述悬臂(1)样品2的样品1第二)接触之前，与接触接收部分(4)在悬臂(2)基于S检测所接收的光强度。悬臂21127第一和第二基于所述检测结果中的逃生机构缩回位置远离悬臂的样本而不是后，第二1样品移动速度慢于第一率2，1，1靠近悬臂。图[图2] |
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