| 紧凑型显微镜及其应用 |
| PL41897316 2016-10-3 发明申请 |
| 2018-4-9 |
| 紧凑型极超紫外范围显微镜是基于激光-等离子体源产生EUV范围(波长10~120nm)的辐射，波长比可见光范围小10~100倍。 EUV源基于两个轴对称喷嘴产生的双气盘(24)，将少量氩气和氦气释放到真空中，形成气盘(24)，然后由激光(10)的脉冲激励产生激光等离子体(25)。 然后利用冷凝器(9)将这种辐射聚焦到一点，照亮被测物体(17)。 使用透镜(18)--探测器波带板(19)--CCD相机对物体(17)成像，它对极端超紫的范围敏感，可调放大倍数为几百倍。 整个显微镜由专用软件控制。 该显微镜的设计非常紧凑，便携，并允许在空间分辨率为~50nm的极超紫范围内配准图像，比可见光范围的显微镜好几倍。 这种显微镜允许以最高分辨率成像，并允许在光谱范围内观察厚度小于100纳米的物体(17)。 |
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