| 原子力显微镜及其控制方法 |
| JP2017527011 2015-7-7 发明申请 |
| 2018-4-5 |
| 原子力显微镜检测装置(100)，(101)(102)，所述悬臂的自由端设有探头(103)之间产生互动的样品，光栅扫描进行相对XY平面沿悬臂样品的样品采集。原子力显微镜扫描信息生成部(114)中有与光栅扫描以产生，基于光栅扫描，控制部(108)和控制光栅扫描的光栅扫描，基于光栅扫描，控制部(111)和与所述交互控制的相互作用的大小。该控制交互；光栅扫描所述样品，沿着xy平面相对降低的相对速度时，悬臂，相对降低的相互作用的大小。 |
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